チタンターゲットとは何ですか？

Ti ターゲットは、基板上にチタンまたはチタンベースの薄膜を堆積するために PVD およびスパッタリングシステムで使用される高純度チタン材料（99.5% 以上の Ti）です。{0}{2}

高度な溶解・鍛造・精密機械加工により製造されており、高密度・微細な結晶粒組織と安定したスパッタリング性能を実現しています。

これらは、優れた膜密着性、耐食性、およびコーティングの均一性を提供するため、半導体製造、LCD および OLED ディスプレイ、メモリー電極、光学コーティング、装飾用 PVD コーティングで一般的に使用されています。

Tiターゲットの物理的および化学的特性

財産	代表値
密度	4.50 – 4.52 g/cm3
融点	1668±5度
純度	99.5% – 99.99% (2N5 – 4N)
熱膨張	8.6 × 10⁻⁶ / K
微細構造と内部品質	密度 99.5% 以上均一な細粒構造- 層間剥離なし目に見える内包物はありません気孔や亀裂がないこと
包装	真空密閉 + 乾燥剤 + 耐衝撃性の木製ケース-
リードタイム	ほとんどのサイズで 2 ～ 4 週間

平面および円形のターゲット

表面粗さ

必要に応じて、次のものを受け取ることができます。

ターゲットを完全にカスタマイズできます。

1. 純度のオプション

99.5% ～ 99.999%

2. サイズと厚さ

3. 粒度制御

4. 結合ターゲット

バッキングプレートは以下から選択できます。

5. 表面仕上げ

旋回、研削、研磨、サンドブラスト

6. 複雑な形状

段階的なターゲット、セグメント化-結合されたターゲット、特殊な輪郭

チタンターゲットに関するよくある質問

チタンスパッタリングターゲットは、高温または高出力のスパッタリングで使用できますか?{0}}

はい。
高純度のチタンターゲットは、ほとんどの高温スパッタリングに適しています。-
極端な電力負荷または継続的な工業生産の場合、グレード 5 (Ti-6Al-4V) ターゲットは、より高い機械的強度と熱安定性を提供します。

チタンスパッタリングターゲットは海外に輸出できますか?

はい。
航空、船、速達 (DHL、FedEx、UPS) で発送できます。
すべての輸出用梱包は、耐衝撃性、防湿性、酸化性-、-保護されています。-

ターゲットとチタンPVDターゲットの違いは何ですか?

チタン PVD ターゲットは、高精度スパッタリング用に特に最適化されており、より優れた成膜効率と膜の均一性を実現します。{0}標準ターゲットはより汎用性が高く、幅広い工業用コーティングアプリケーションに適していますが、常に超高精度 PVD システムに最適化されているわけではありません。--

Titanium Target Process

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