製品概要
グレード 5 チタン合金スパッタリング ターゲット (Ti-6Al-4V、UNS R56400) は、高い強度重量比と耐食性を必要とする工業用 PVD コーティング用途に均一な薄膜堆積を実現します。{{6}{8}}真空誘導溶解および制御された熱機械処理によって製造されたこれらのターゲットは、高密度で均質な微細構造を保証し、DC または RF マグネトロン スパッタリング プロセス中のノジュールの形成とアーク発生を最小限に抑えます。
技術仕様
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パラメータ |
仕様規格 |
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材料構成 |
Ti：バランス、Al：5.5％～6.7％、V：3.5％～4.5％、Fe<= 0.40%, O <= 0.20% |
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純度 |
>= 99.4% (インタースティシャル要素を除く) |
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密度 |
>= 4.43 g/cm3 (Theoretical density >= 99%) |
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平均粒径 |
< 100 um |
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利用可能な形状 |
平面（長方形、円形、セグメント）、回転（円筒） |
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寸法 |
カスタム設計-最大長さ / 直径 3,000 mm |
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バッキングプレート |
無酸素銅（OFC）、アルミニウム 6061- |
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接着方法 |
インジウム接合、エラストマー接合、拡散接合 |
主な特長
微細で均質な微細構造:等軸粒子構造により、局所的な異常浸食が防止され、高出力インパルス マグネトロン スパッタリング (HIPIMS) 中の粒子の放出が減少します。{0}
高密度:内部の気孔率を最小限に抑えるために焼結および鍛造されており、ガスの閉じ込めや真空チャンバーの汚染を排除します。
強力なバッキングプレートの統合: Ultrasonic scanning guarantees >Ti-6Al-4V タイルと銅/アルミニウムのバッキング プレート間の接合範囲は=95% で、最適な熱伝導率を実現します。
正確な寸法制御:厳しい機械公差 (+/- 0.05 mm ～ +/- 0.1 mm) で機械加工されており、修正せずに OEM カソード アセンブリに適合します。
アプリケーション
生物医学的インプラント:整形外科用および歯科用器具の耐摩耗性生体適合性薄膜-。
航空宇宙と防衛:タービンブレードと構造ファスナーの耐浸食性保護コーティング-。
装飾金具:消費財や自動車のトリムに使用される耐久性があり、傷つきにくい着色ハード コーティング（TiN/TiCN/TiAlN 多層システム）-。
研究開発と薄膜研究-:合金相研究や半導体薄膜テストのための実験室規模の堆積-。-
カスタマイズと製造
製造には、社内にある真空誘導溶解 (VIM)、真空アーク再溶解 (VAR)、熱間鍛造、多軸 CNC 加工施設が利用されています。-
カスタムジオメトリ:段付きエッジ、冷却チャネル、ネジ付き取り付け穴を含む、顧客ごとの CAD 図面を作成します。
ターゲットプロファイリング:特定のマグネトロン構成でターゲットの寿命を最大化するためにカスタマイズされた磁気利用プロファイル。
プロトタイピングとスケールアップ-:柔軟なバッチ スケジュールにより、単一の研究開発と大量生産の両方をサポートします。{0}
品質管理と認証
すべての製造ロットは、専用の試験装置を使用して厳格な多段階検査を受けます。{0} EN 10204 3.1 準拠の材料試験レポート (MTR) と代表的なロットのデータシートは、事前資格確認用に利用できます [サンプル MTR PDF をダウンロード]-。
化学組成:誘導結合プラズマ質量分析法 (ICP-MS) および間質ガス分析用の不活性ガス融合 (O、N、H)。
微細構造分析:粒子サイズ検証のための光学顕微鏡および後方散乱電子回折 (EBSD)。
内部整合性:超音波 C- スキャン テストにより、表面下のボイド、層間剥離、または未結合領域を検出します。-
寸法精度:CMM (三次元測定機) の検査報告書は出荷ごとに提供されます。
コンプライアンス：ISO 9001:2015 品質管理システムに基づいて製造されています。
梱包と配送
包装：輸送中の表面の酸化や衝撃による損傷を防ぐため、頑丈な輸出用木箱内に高密度フォームクッションを備えた-帯電防止多層ポリエチレン袋に-真空密封されています。-
リードタイム：標準寸法の場合は 2 ～ 3 週間。複雑なカスタム形状または接着アセンブリの場合は 4 ～ 5 週間。
ロジスティクス：衝撃インジケーターと傾斜インジケーターが木箱に取り付けられた状態で、航空または海上貨物で発送されます。
よくある質問
Q: 高出力スパッタリング中のノジュールの形成やアーク発生をどのように防ぐのですか?{0}}
A: 原材料の溶解プロセスとそれに続く多段階の熱機械鍛造を制御することで、局所的な不純物の偏析が制限されます。{0}{1}平均粒径を 100 マイクロメートル未満に維持することで、ターゲット表面全体にわたって安定した浸食速度が保証され、プラズマの不安定性が抑制されます。
Q: 銅製のバッキングプレートに取り付けられたターゲットの最大接合強度はどれくらいですか?
A：インジウムとエラストマーの接合方法により、10MPaを超えるせん断強度を実現しています。超音波 C- スキャン検査により、少なくとも 95% の非結合自由表面積が確認され、高出力密度での局所的な過熱やターゲットの亀裂を防止します。-
Q: 大面積の建築塗装ライン用にセグメント化されたターゲットを製造できますか?{0}}
A: はい。標準の真空チャンバー寸法を超える平面ターゲットは、シームレスなプラズマ連続性を維持するために、接合公差が +/{3}} mm 以内に保たれた精密なインターロック セグメントで製造されます。-
Q: 各出荷にはどのような文書が同梱されますか?
A: 各出荷には、正確な化学組成（侵入元素を含む）、密度測定値、超音波スキャン マップ、CMM 寸法検査シートを詳細に記載した、さまざまな固有の材料試験レポート（MTR）が含まれています。{0}
Q: カスタム設計の円形または平面ターゲットの標準リードタイムはどれくらいですか?{0}
A: 標準的なカスタムオーダーは、原材料の準備、精密機械加工、接着、最終検査、梱包を含めて 3 ～ 4 週間以内に発送されます。重大なラインダウンタイムの状況では、緊急実行が可能です。
Q: ターゲットは DC および RF マグネトロン スパッタリング電源の両方と互換性がありますか?
A: はい。均一な電気伝導率と緻密な冶金構造により、DC、パルス DC、RF 電力モード下でマイクロ アーク発生のない安定した動作がサポートされます。-。
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